半导体行业用高纯贵金属及合金靶材的制备与应用研究
栏目:国家级、省级重大科研项目 发布时间:2020-03-26


课题名称

计划类型

计划发布机构

项目时间

专项经费(万元)

半导体行业用高纯贵金属及合金靶材的制备与应用研究

厦门市重大科技项目

厦门市科技局

2020.03-2023.03

510